金属系材料の超効率的探索・カスタマイズを可能とするコンビナトリアル技術

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この技術を持っている組織名古屋大学大学院工学研究科　マイクロ・ナノ機械理工学専攻　マイクロ・ナノプロセス研究グループ（秦研究室）

　コンビナトリアル技術とは，組成の異なる薄膜サンプルを一度に一つの基板上に集積して製作するコンビナトリアル成膜技術と，それら多数のサンプルを高処理能力にて評価，測定するハイスループット評価技術とからなります．
　本研究室では，主に金属系材料を対象とし，以下のコンビナトリアル技術に関する研究開発を企業，公的機関とも協力しながら推進しています．

〇コンビナトリアル成膜技術
　・コンビナトリアル新対向ターゲットスパッタ法
　・コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法

〇ハイスループット評価技術
　・結晶化開始温度のハイスループット評価法
　・縦弾性係数のハイスループット評価法
　・薄膜材料疲労強度のハイスループット評価法
　・磁歪材料の集積化MEMS評価基板を用いたハイスループット評価法

解決できる技術課題

・主に金属系薄膜材料の新材料探索，材料開発の超効率化

・新材料，既成材料の用途に応じたカスタマイズ，目的に応じた組成最適化

・薄膜金属材料の物性測定
　アモルファス合金（非晶質合金）の結晶化開始温度，
　薄膜金属ガラスのガラス転移温度，
　縦弾性係数（ヤング率）
　疲労強度
　磁歪特性，透磁率，電気抵抗率の一括測定

期待できる用途

薄膜アモルファス合金の結晶化開始温度のハイスループット評価
薄膜形状記憶合金の変態温度のハイスループット評価
耐食性のハイスループット評価
薄膜材料の疲労強度のハイスループット評価
磁歪材料の磁歪特性，透磁率，抵抗率のハイスループット評価
薄膜材料のヤング率（縦弾性係数）のハイスループット評価

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