同時6軸制御ナノ加工機

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ナガセインテグレックスが製造する同時6軸制御の超精密加工機NICシリーズ。

同時6軸にて制御するため、自由曲面上に2方向の面直加工が可能。
ナノ単位での指令値に対しての追従性が優れている。
加工点での繰り返し再現性が極めて高い。

駆動は独自開発した超精密リニアモータを使用。
高度な温度制御をしており、温度変化による機械姿勢や軸の変化を抑制。
非接触の案内面を採用しているため経年劣化が精度劣化が極めて小さく、長く使用できる。

解決できる技術課題

自由曲面上への微細加工が可能。直線だけでなくsin曲線（sinカーブ）などの複雑な周期構造の創成ができる。
これまで加工不可能と思われたナノ分野での微細加工を実現できる。
レンズや照明などの金型表面への多彩な加工が可能。

高面積へのマイクロレンズアレイ加工が可能。最大35万個の実績。工具磨耗が極小で、超高品位な加工が可能。
90°Vバイトにて、深さ1μmの溝をピッチ2μmで10000本創成。ワークへの工具転写の結果からX-Y-C軸の補間精度は150nm程度となっている。

期待できる用途

自由曲面レンズ
ミラーなど各種光学素子
光学フィルム
レンズ加金型製作に対応。
導光盤
極小レンズ加工
マイクロレンズアレイ加工

画像

NIC-300α全体像

自由曲面上への加工